Галперин В.А.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие

Галперин В.А., 2014

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики. Подробнее

Галперин В.А.

Книги

Художественная литература

Фантастика

Детектив

Детская литература

Юмор. Комиксы.

Кулинария

Эротика и секс (18+)

Семья